CNR IMM

Gara a procedura aperta per la fornitura, installazione e resa operativa di strumentazione da laboratorio in 3 lotti:
 
- Lotto n. 1: Sistema modulare per la realizzazione di membrane stress-free per applicazioni nelle tecnologie di micro-fabbricazione MEMS mediante deposizione chimica da fase vapore assistita da plasma (PECVD) di film sottili di nitruri ed ossidi di silicio  - CIG: 050402703D
Importo presunto a base di gara EURO 400.000,00 IVA esclusa. Non sono ammesse offerte in aumento.

- Lotto n. 2: Sistema di litografia a fascio elettronico (EBL) - CIG:05040356D5
Importo presunto a base di gara EURO 875.000,00 IVA esclusa. Non sono ammesse offerte in aumento.

- Lotto n. 3: Microscopio Elettronico a Trasmissione  (TEM) da almeno 100kV dotato di sistema di rivelazione CCD e sistema di analisi EDS
Rif. Codice Identificativo Gara (CIG): 0504041BC7
Importo presunto a base di gara EURO 270.000,00 IVA esclusa. Non sono ammesse offerte in aumento.
 
Aggiudicazione ai sensi dell'art. 83 del D.Lgs 163/06 e s.m.i secondo il criterio dell'offerta economicamente più vantaggiosa.

Le offerte dovranno essere inoltrate al seguente indirizzo: IMM-CNR, Zona Industriale VIII Strada n. 5 - 95121 Catania - Italy

 
BANDO
 
CAPITOLATO SPECIALE D’ONERI
 
DISCIPLINARE DI GARA
 
SCHEMA CONTRATTO
 
DUVRI_LOTTO N. 1_PECVD
 
DUVRI_LOTTO N. 2_EBL
 
DUVRI_LOTTO N. 3_TEM