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PUBBLICAZIONI

Ion implantation and activation of aluminum in bulk 3C-SiC and 3C-SiC on Si

Data di pubblicazione: 15 Dic 2022

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RivistaFonte dati: OPENALEXTipo OpenAlex: articleAccesso chiuso
Autori: Marica Canino, Fabrizio Tamarri, Frank Torregrosa, Mariaconcetta Canino, F. Li, F. Tamarri, B. Roux, S. Morata, Francesco La Via, Marcin Zieliński, Roberta Nipoti
Fonte
MRS Advances
Volume
7
Fascicolo
36
Pagine
1347-1352
Citazioni
6
ID archivio
bb9e042678b729dcb11e05c4a6666398
Riferimenti
Pages: 1-6
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