As Depth Profiling in Si Ultrashallow Junctions: Comparison of Three Different Experimental Determinations.

Data di pubblicazione: 10 Lug 2009

RivistaFonte dati: OPENALEXTipo OpenAlex: conference-abstractOpen Access
Autori: Andrea Parisini, Vittorio Morandi, Jaap A. van den Berg, Michael A. Reading, D. Giubertoni, Paul T. Bailey, T.C.Q. Noakes

Abstract not Available.

Fonte
ECS Meeting Abstracts
Volume
MA2009-02
Fascicolo
22
Pagine
2007
Citazioni
1
ID archivio
45dd493f25d6c046353ffa9318af6dda
Riferimenti
Issue: 22 Pages: 2007