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Detailed arsenic concentration profiles at Si/SiO {sub 2} interfaces
Antonio Terrasi
2008-08-15
Riferimenti:
Volume: 104 Issue: 4
Fonte:
Journal of Applied Physics
Detailed arsenic concentration profiles at interfaces
Antonio Terrasi
2008-08-15
Riferimenti:
Volume: 104 Issue: 4 Pages: 043507
Fonte:
Journal of Applied Physics