АННОТАЦИЯ: Работа посвящена исследованию влияния добавки кремния на структуру, стойкость к окислению и термическую стабильность покрытий TiBN. Покрытия TiBN и TiSiBN наносились на подложки из монокристаллического кремния (100) методом магнетронного напыления совмещенного с ионной имплантацией, что позволило существенно повысить адгезию покрытий к подложке и сохранить ее на высоком уровне при высокотемпературных отжигах. Исходные и отожженые …