Работа посвящена исследованию влияния добавки кремния на структуру, стойкость к окислению и термическую стабильность покрытий TiBN. Покрытия TiBN и TiSiBN наносились на подложки из монокристаллического кремния (100) методом магнетронного напыления совмещенного с ионной имплантацией, что позволило существенно повысить адгезию покрытий к подложке и сохранить ее на высоком уровне при высокотемпературных отжигах. Исходные и отожженые покрытия исследовались с применением методов просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения, атомно-силовой микроскопии, рентгенофазового анализа, Рамановской спектроскопии, оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда и наноиндентирования. Было установлено, что структура и механические свойства покрытий TiBN деградируют при нагреве в вакууме …