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Quantitative Relation between Engineering and Microscopic Parameters in Fluorocarbon Plasma

Data di pubblicazione: 1 Gen 2006

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RivistaFonte dati: ARCHIVIO
Autori: Antonino La Magna
Editore
Mentor Communications
Fonte
PROCEEDINGS OF INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON DRY PROCESS
ID archivio
312b8079746b8a70b0cc19f416786987
Riferimenti
Volume: 6 Pages: 81
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