Strain Evaluation in SiC MEMS Test Structures

Matteo Bosi; G. Attolini; B.E. Watts; Bernard Enrico Watts; C. Frigeri; Francesca Rossi; Antonella Poggi; Alberto Roncaglia; Fulvio Mancarella; O. Martı́nez; Oscar Martinez; V. Hortelano; Vanesa Hortelano

doi:10.1149/ma2009-02/34/2623

RivistaFonte dati: OPENALEXTipo OpenAlex: conference-abstractOpen Access

Autori: Matteo Bosi, G. Attolini, B.E. Watts, Bernard Enrico Watts, C. Frigeri, Francesca Rossi, Antonella Poggi, Alberto Roncaglia, Fulvio Mancarella, O. Martı́nez, Oscar Martinez, V. Hortelano, Vanesa Hortelano

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Fonte

ECS Meeting Abstracts

Volume

MA2009-02

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Pagine

2623

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