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Atomic layer deposition
Atomic layer deposition
Data di pubblicazione: 16 Ott 2025
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Rivista
Fonte dati: OPENALEX
Tipo OpenAlex: review
Open Access
Autori:
W. M. M. Kessels, Anjana Devi, Anjana Devi V, Jin‐Seong Park, Mikko Ritala, Ángel Yanguas-Gil,
Claudia Wiemer
Fonte
Nature Reviews Methods Primers
Volume
5
Fascicolo
1
Citazioni
63
Apri pubblicazione
Open Access
