Diffusion doping of germanium by sputtered antimony sources

Data di pubblicazione: 1 Mar 2018

RivistaFonte dati: ARCHIVIO
Editore
Pergamon
Fonte
Materials Science in Semiconductor Processing
ID archivio
8a1f19310dce6f393020cee9fea43f2b
Riferimenti
Volume: 75 Pages: 118-123