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Diffusion doping of germanium by sputtered antimony sources
Diffusion doping of germanium by sputtered antimony sources
Data di pubblicazione: 1 Mar 2018
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Rivista
Fonte dati: ARCHIVIO
Autori:
Virginia Boldrini
Editore
Pergamon
Fonte
Materials Science in Semiconductor Processing
ID archivio
8a1f19310dce6f393020cee9fea43f2b
Riferimenti
Volume: 75 Pages: 118-123
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