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Si Ultra Shallow Junctions Dopant Profiling with ADF-STEM

Data di pubblicazione: 1 Gen 2007

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RivistaFonte dati: OPENALEXTipo OpenAlex: articleAccesso chiuso
Autori: Andrea Parisini, D. Giubertoni, M. Bersani, Massimo Bersani, Vittorio Morandi, P. G. Merli, Pier Giorgio Merli, Jaap van den Berg
Fonte
MRS Proceedings
Volume
1026
Citazioni
1
ID archivio
fbb7293002e9bf1aa75442ac2f8bdfd8
Riferimenti
Volume: 1026 Issue: 1 Pages: 1-6
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