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Smoothing and surface planarization of sacrificial layers in MEMS technology

Data di pubblicazione: 23 Feb 2013

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RivistaFonte dati: OPENALEXTipo OpenAlex: articleAccesso chiuso
Autori: Romolo Marcelli, Andrea Lucibello, Emanuela Proietti, R. Marcelli, Romolo Marcelli, G. Bartolucci
Fonte
Microsystem Technologies
Volume
19
Fascicolo
6
Pagine
845-851
Citazioni
5
ID archivio
02d8cbc34689c588e141d5c942f1bbf7
Riferimenti
Volume: 19 Pages: 845-851
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