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RF MEMS switches fabrication by using SU-8 technology

Data di pubblicazione: 23 Feb 2013

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RivistaFonte dati: OPENALEXTipo OpenAlex: articleAccesso chiuso
Autori: Romolo Marcelli, Andrea Lucibello, Emanuela Proietti, Flavio Giacomozzi, R. Marcelli, Romolo Marcelli, G. Bartolucci, Giorgio De Angelis
Fonte
Microsystem Technologies
Volume
19
Fascicolo
6
Pagine
929-936
Citazioni
13
ID archivio
0f12698036c55ff17092bc686551cad1
Riferimenti
Volume: 19 Issue: 6 Pages: 929-936
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